Et kann op RLS Serie RF Energieversuergung ugepasst ginn, a gëtt wäit an Plasma Ätzen, Beschichtung, Plasma Botzen, Plasma Degumming an aner Prozesser benotzt.Wann se eleng benotzt gëtt, kann et zesumme mat anere Hiersteller RF Stroumversuergung benotzt ginn.