MSB Serie Mëttelfrequenz Sputtering Stroumversuergung

Kuerz Beschreiwung:

D'RF-Stroumversuergung vun der RHH-Serie baséiert op enger reifer RF-Generatiounstechnologie, fir de Clienten eng RF-Stroumversuergung mat méi grousser Leeschtung, méi héijer Präzisioun a schneller Äntwert ze bidden. Mat Phasenastellung, Pulskontroll, digitaler Ofstëmmung an aner Funktiounen. Uwendbar Beräicher: Photovoltaikindustrie, Flaachbildschiermindustrie, Hallefleederindustrie, chemesch Industrie, Laboratoire, wëssenschaftlech Fuerschung, Fabrikatioun, etc.

Uwendbar Prozesser: Plasmaverstäerkt chemesch Dampfoflagerung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Radiofrequenz-Ionenquell, Plasmadiffusioun, Plasmapolymerisatiounssputtering, reaktiv Sputtering, etc.

Produktdetailer

Produkt Tags

Schéckt eis eng E-Mail

Fonctiounen

● Half-Brick- a Rack-Mount-Stiler

● Voll digital Kontroll mat prakteschem a räichem Operatiounsmenü

● Frequenzabstimmung, Puls- a Pulssynchroniséierungsfunktiounen

● Mat CEX-Phasensynchronisatiounsfunktioun

● Perfekt Schutzfunktioun

Produktdetailer

Input	Inputspannung: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Speziell Spezifikatioune kënnen personaliséiert ginn)
Input	Inputfrequenz: 47~63Hz
Ausgab	Ausgangsfrequenz: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Ofstëmmungsberäich: ±5%
	Ausgangsleistung: 1,5~5 kW
	Reguléierungsberäich vun der Ausgangsleistung: 1~100%
	Ausgangsimpedanz: 50Ω+j0
	Ausgangsschnittstell: Typ N
	Ausgangsmodus: kontinuéierlech, Puls
	Pulsfrequenz: 100Hz~100kHz
	Duty Cycle: 5~95%
Leeschtungsindex	Leeschtungsfaktor: 0,98
	Genauegkeet vun der Frequenzstabilitéit: ±0,005%
	Effizienz: 75% (bei der Nennleistung)
	Harmonesch: <-45dBc
	Verstreet: <-50dBc
	Extern Kontrollschnittstell: analog Quantitéit, Kommunikatioun a Synchroniséierung
	Kommunikatiounsmodus: Standard RS485 Kommunikatiounsschnittstell; Optional Ether CAT, industriellt Ethernet, etc.
Bemierkung: D'Produkt gëtt weider innovativ an d'Leeschtung verbessert sech weider. Dës Parameterbeschreiwung ass nëmme fir Referenz.